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無塵凈化工程要控制溫濕度具體措施有哪些?
- 2022-02-21-

無塵凈化工程要控制溫濕度具體措施有哪些?

  無塵凈化工程的溫度和濕度主要根據客戶的加工工藝要求來確定。在滿足加工過程的條件下,應考慮人們的舒適性。隨著空氣清潔度要求的提高,該過程對溫度和濕度的要求越來越高,必須達到一定的溫度和濕度水平。例如,在大型集成電路生產的光刻曝光過程中,玻璃和硅片作為的熱膨脹系數差異越來越小。直徑100um的硅片溫度上升1度,導致0.24um線性膨脹,恒溫為0.1度,濕度值一般較低,因為人們出汗后會污染產品,特別是半導體車間怕鈉,車間不得超過25度。

  高濕度會導致更多的問題。當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁會暴露出來。如果發生在精密設備或電路中,會導致各種事故。50%時相對濕度容易生銹。無塵凈化工程應采取哪些具體措施控制溫濕度?

  然而,對于大多數清潔空間,內部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓),以防止外部污染。壓差維護一般應符合以下原則:

1.清潔度高的空間壓力高于相鄰清潔度低的空間壓力。

2.相通潔凈室之間的門應開到潔凈度高的房間。

3.清潔空間的壓力高于非清潔空間。

4.壓差的維護取決于新風量,可以補償壓差下間隙泄漏的風量。因此,壓差的物理意義是通過潔凈室各種間隙泄漏(或滲透)的阻力。

由于亂流潔凈室主要依靠空氣稀釋來減少室內污染,主要采用通風次數而不是直接速度的概念,但對室內氣流速度也有以下要求:

1.出風口的氣流速度不宜過大。與簡單的空調房相比,衰減速度更快,擴散角度更大。

2.吹平面氣流速度(如側時回流速度)不宜過大,以免吹表面顆粒回流,造成再污染。這個速度一般不應該是0.2m/s。

  以上就是今日小編為大家介紹的無塵凈化工程,感謝大家耐心的閱讀!

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